Leica DCM8 - конфокальный 3D профилометр
Область применения: Метрология поверхности.
Микроскоп Leica DCM8 предназначен для исследования топографии поверхности в конфокальном и интерферометрическом режимах с построением моделей и измерений на сканируемых поверхностях.
Наиболее часто используется для измерения шероховатостей и в микроэлектронике с разрешением по вертикали до 1 нм.
Использование конфокальной технологии позволяет быстро и точно осуществлять профилометрию поверхностей сложной формы или с крутыми наклонами до 70° без порчи образца.
Преимущественно используется с моторизованными осями X, Y, Z и антивибрационным столиком.
Высокоточный анализ поверхностей имеет большое значение в промышленности и науке в целях обеспечения оптимальных характеристик материалов и компонентов. Существуют однако, сложные аспекты: поверхности могут состоять из сложных структур с очень покатыми участками, что требует горизонтального разрешения в несколько микрон, или же резкие микроскопические пики и впадины, что требует разрешения по вертикали в субнанометровом диапазоне. И если высокое горизонтальное разрешение обеспечивается конфокальной микроскопией, для достижения требуемого разрешения по вертикали в субнанометровом диапазоне необходима интерферометрия.
Преимущества:
Интерферометрия высокой четкости с оптимальным разрешением по вертикали до 0.1 нм;
Три метода измерения толстых и тонких пленок;
Четыре светодиода, позволяющие получать цветные изображения в палитре RGB: синий (460 нм), зеленый (530 нм), красный (630 нм) и белый (центральная длина волны 550 нм).
Общие характеристики:
Принцип измерения: бесконтактная трехмерная двухъядерная оптическая профилометрия (конфокальная регистрация и интероферометрия).
Функции:
Получение изображений с высоким разрешением, измерение рельефов с высоким разрешением в 3D, измерение профилей, координат, толщины, шероховатости, объема, поверхности, структуры, спектральный анализ, колориметрия и т.п.
Режимы контрастирования:
HD конфокальный;
HD интерферометрия (PSI, ePSI, VSI);
HD светлопольный цветной, светлопольный, темнопольный;
конфокальный HD RGB в реальном времени.
Высота образца:
40 мм в стандартной конфигурации;
до 150 мм с регулируемой колонкой;
по требованию большая высота образца.
Объективы:
от 1.25x до 150x с конфокальным, светлопольным и темнопольным режимами;
от 5x до 50x в режиме интерферометрии.
Диапазон перемещения столика (XYZ):
по вертикали: z = 40 мм;
в поперечном направлении: xy = 100x75 мм (в стандартном исполнении) или до 300x300 мм;
различные столики больших размеров.
Диапазон сканирования по вертикали:
конфокальный режим: 40 мм;
PSI: 20 мкм;
ePSI: 100 мкм;
VSI: 10 мм.
Подсветка: светодиодные источники света:
красный: 630 нм;
зеленый: 530 нм;
синий: 460 нм;
белый: центральная длина волны 550 нм.
Отражающая способность образца: 0.1-100 %.
Размеры: (ДxШxВ) 573x390x569 мм.
Масса: 48 кг.
